中芯国际表示与ASML之间已解决光刻机的问题，EUV技术研发步入正轨
发布时间：2019-12-12 08:54
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近日，中芯国际表示与ASML之间已解决光刻机的问题，EUV技术研发步入正轨。前不久有消息称ASML已暂停对中国供应EUV光刻机，随后ASML公司表示不是停供，而是延期，主要是在准备该国政府的出口申请文本工作。
点评：据了解，荷兰ASML公司是全球EUV光刻机的唯一供应商，Intel、三星、台积电等公司都要依赖它。中芯国际去年也订购了一台EUV光刻机用于研究7nm及以下的先进工艺，订单价值超过1.2亿欧元，预计今年底交货，2020年正式安装。目前国内晶圆厂量产的最先进工艺还是28nm，中芯国际的14nm工艺取得了突破，但目前还没大规模量产，还在客户导入阶段。中芯国际7nm及以下的先进工艺技术研发进入正轨，相关光刻材料合格供应商有望受益。南大光电产品包括光刻胶及配套材料，公司参股公司北京科华开发的248nm光刻胶目前已通过包括中芯国际在内的部分客户的认证。飞凯材料上海半导体装备材料产业投资基金入股了公司，公司的产品有直接或间接供应中芯国际和华为。
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